ساخت میکروعملگر الکتروستاتیکی با استفاده از پلیمر SU-8 جهت استفاده در ادوات MEMS با دیافراگم پیوسته
نویسندگان
1 مجتمع برق الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر کارشناسی ارشد برق
2 مجتمع برق الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشترکارشناسی ارشد برق الکترونیک
3 مجتمع برق الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر دکترای فیزیک
4 دانشکده فنی دانشگاه آزاد واحد رودهن دکترای مکانیک
doi
چکیده
در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله در این مقاله
