طرح جدید تشدیدگر مستطیلی میکرومکانیکی در مد ارتعاشی شناور با ضریب کیفیت بالا و مدهای ناخواسته پایین
نویسندگان
1 دانشگاه بیرجند، هیئت علمی گروه الکترونیک، دکترای الکترونیک
2 دانشگاه بیرجند، دکترای مکانیک طراحی کاربردی
3 دانشگاه بیرجند، کارشناسی ارشد مکانیک
doi
چکیده
امروزه با پیشرفتهای انجام شده در زمینه ساخت سیستمهای میکروالکترومکانیکی، این تشدیدگرها در سیستمهای ارتباطی بیسیم و ناوبری کاربرد گستردهای یافتهاند. در این مقاله، به منظور افزایش ضریب کوپلاژ الکترومکانیکی و بهبود مشخصات الکتریکی تشدیدگرهای تیر، تشدیدگر مستطیلی میکرومکانیکی در مد ارتعاشی شناور معرفی و برای کاهش اثر مدهای ناخواسته در این تشدیدگرها، استفاده از چهار تیر نگهدارندهی معمولی پیشنهاد میشود. همچنین، با توجه به غالب بودن مکانیزم اتلاف تکیهگاه در کاربردهای مهمی نظیر نوسانسازها، فیلترها و ژیروسکوپها، مدلسازی و محاسبه اتلاف تکیهگاه در تشدیدگر مستطیلی میکرومکانیکی انجام میشود و برای اعتبارسنجی از مطالعات آزمایشگاهی استفاده میشود. بهطوریکه نتایج تحلیلی با نتایج آزمایشگاهی مطابقت قابل قبولی داشته و درستی مدلسازی انجام شده را نشان میدهد. در واقع هدف اصلی این مقاله، ارائه یک طرح جدید برای تیرهای نگهدارنده در مد ارتعاشی شناور تشدیدگرهای مستطیلی میکرومکانیکی به منظور دستیابی به ضریب کیفیت بالا، مقاومت جنبشی پایین و مدهای ناخواسته کم است. برای این منظور، استفاده از چهار تیر نگهدارنده T شکل به جای دو تیر نگهدارنده معمولی پیشنهاد شده و محاسبات انجام شده نشان میدهند که ضریب کیفیت تشدیدگر در فرکانس تشدید یکسان در حدود 65/1 برابر افزایش مییابد. همچنین با کاهش پهنا و درازای قسمتهای T شکل در فرکانس تشدید ثابت، ضریب کیفیت اتلاف تکیهگاه افزایش مییابد.