فهرست نشریات علمی دسترسی آزاد ایران

در این مقاله، نمونه آزمایشگاهی یک سامانه لیتوگرافی لیزری با استفاده از هد اپتیکی دستگاه دیسک خوان Blu-Ray(BD)ساخته و تست شده است. هد اپتیکی این دستگاه دارای لیزر آبی، لیزر قرمز، عدسی شیئی و قطعات اپتیک مناسب برای خواندن و نوشتن اطلاعات بر روی دیسک نوری است. از لیزر آبی آن با طول موج 405 نانومتر بصورت یکپارچه برای کانونی سازی لیزر بر روی سطح زیرلایه و همچنینلیتوگرافی و ایجاد الگو بر روی زیرلایه پوشش داده شده با فوتورزیست شیپلیاستفاده شده است. برای انجام فرایند لیتوگرافی،زیرلایه بر روی میز دو درجه آزادی X-Y قرار می‌گیرد و متناسب با الگوی طرح و فرامین ارسالی از کامپیوتر، سطح آنبوسیله لیزر روشن/خاموش جاروب می‌شود. برای رسیدن به کمینه لکه لیزر و ثابت نگه داشتن زیرلایه در محدوده فاصله کانونی محور Z،سامانه خودکانون با استفاده از هد اپتیکی و طراحی مدارات واسط ساخته شده است تا پهنای خطوط لیتوگرافی در کل سطح زیرلایه تغییر نکند.دقت پهنای خطوط لیتوگرافی انجام شدهµm 3 با غیریکنواختی کمتر از20% استو با توجه به طول موج لیزر آبیو عدسی شیئی با روزنه عددی 85/0 موجود در هد اپتیکی،دقت سامانه لیتوگرافی مذکور تا دقت nm 500 قابل ارتقا است.