طراحی، مدلسازی و شبیه سازی میکروفون خازنی ممز بیسیم
نویسندگان
1 دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، بابل، ایران
2 دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، بابل، ایران
3 دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، بابل، ایران
doi
10.22075/jme.2024.32355.2561چکیده
در این مقاله یک ساختار جدید از میکروفون خازنی ممز(MEMS) بیسیم طراحی، آنالیز و مدلسازی شدهاست. در ساختار پیشنهادی از یک میکروفون با ولتاژ پولین بسیار کم استفاده شده که با یک سلف ممزی سری است. سلف ممزی با یک سلف خارجی در حالت القای متقابل قرار دارد و ولتاژ مورد نیاز میکروفون را تامین میکند. اطلاعات دریافتی میکروفون نیز از طریق القای متقابل منتقل می شود. سنسور برای استفاده در سمعک ناشنوایان طراحی شده است. ابعاد میکروفون برابر μm2250×250 است که در میان سلف ممزی با ابعاد mm22×2 قرار دارد. میکروفون و سلف ممزی هر کدام به صورت جداگانه تحلیل شده و سپس با استفاده از المانهای فشرده الکترونیکی مدل سازی شده و روابط ریاضی برای طراحی سنسور ارائه شده است. شبیهسازی بخش ممزی در نرمافزار Intellisuite و شبیهسازی بخش مداری، در نرمافزارADS انجام شدهاست. سنسور به علت استفاده از المان های غیر فعال و ممزی، کم نویز و کم توان بوده و سیگنال به نویز و توان مصرفی آن به ازای ورودی ولتاژ mv100 برابرdb79.6 و mW204 است. به دلیل عدم وجود باتری، ابعاد سنسور پیشنهادی کوچک است و برای کاربردهای پزشکی و امنیتی مناسب است.