امکانسنجی پتانسیل آلایش (دوپینگ) سیلیکون در ستون حرارتی راکتور تحقیقاتی تهران
نویسندگان
1 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
2 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
3 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
4 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
5 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
6 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
7 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
8 پژوهشکده راکتور و ایمنی هستهای، پژوهشگاه علوم و فنون هستهای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهران
doi
10.22052/9.1.43چکیده
تولید نیمههادیهایی نظیر سیلیکون آلاییده شده توسط فسفر در تولید قطعات الکترونیک قدرت و صنایع مختلف نظیر خودروسازی و نیروگاههای خورشیدی کاربردهای بسیار زیادی دارد. فرآیند آلایش که اصطلاحاً دوپینگ سیلیکون نامیده میشود، با هر یک از روشهای شیمیایی و هستهای قابل انجام است. از آنجایی که یکنواختی ناخالصی تزریق شده در روش شیمیایی مناسب نیست، روشهای ناخالصسازی سیلیکون بهروش تابشدهی نوترونی در دنیا بهشدت دنبال میشود. در این کار، پتانسیل ستون حرارتی راکتور تحقیقاتی تهران برای انجام آلایش سیلیکون با استفاده از کد شبیهسازی MCNPX بررسی شده است. نتایج حاصل از این کار نشان میدهد شار نوترونهای حرارتی و نسبت شار نوترونهای حرارتی به نوترونهای سریع در مکان بهینه بهترتیب n/s.cm2 1012×2/1 و 441 میباشد که نشان میدهد ستون حرارتی راکتور تهران میتواند مکان مناسبی برای آلایش سیلیکون باشد.
