توسعه یک میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس برای شناسایی میکروال ای دی های معیوب در فرآیند ساخت
نویسندگان
1 استادیار، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه شیراز، شیراز، ایران
doi
10.22034/tjee.2024.61975.4858چکیده
میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس جدیدی با استفاده از لیزرهای تحریک موج پیوسته ۴۰۵ نانومتر برای بررسی میکرو الایدیهای آبی که در طول موج ۴۵۰ نانومتر نور فوتولومینسانس تولید میکنند، توسعه یافته است. این سیستم قادر است چاههای کوانتومی معیوب میکرو الایدی را که به دلیل ناتوانی در تولید نور زیر میکروسکوپ تاریک دیده میشوند، شناسایی کند. در این پژوهش نشان داده شده که میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس میتواند نقصها را مستقیماً روی ویفر و در حین فرآیند ساخت، پیش از تست الکتریکی، تشخیص دهد. شناسایی زودهنگام چنین ایراداتی از ادامه تولید ال ای دی های معیوب جلوگیری کرده و به کاهش هزینهها و افزایش بهرهوری کمک میکند. همچنین، این سیستم قادر است برخی عیوب پنهان را که با میکروسکوپهای معمولی قابل مشاهده نیستند، آشکار کند. این روش پیشرفته امکان ارزیابی و مقایسه کیفیت میکرو الایدیها را در بین ویفرها و حتی درون یک تصویر فراهم میآورد و به عنوان روشی غیرتماسی و دقیق برای کنترل کیفیت در خط تولید میکرو الایدیها شناخته میشود.