بررسی تأثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری و اپتیکی پوشش نابازتابندۀ پهن باند SiO2/TiO2 ایجاد شده به روش کندوپاش پلاسما

نویسندگان
سلمان نژاد, حسین ID 1
سلمان نژاد, حسن ID 2
زارعی مقدم, رضا ID 3
خانی, محمدرضا ID 4
شکری, بابک ID 5

1 پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

2 پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

3 گروه فیزیک دانشگاه اراک

4 پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

5 پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران

doi
10.47176/ijpr.24.2.21649
چکیده

دراین مقاله، تأثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری واپتیکی پوشش­های نابازتابندۀ TiO2 و SiO2 مطالعه و بررسی شد. لایه‌های نازک به روش کندوپاش بر روی زیرلایۀ سیلیکونی لایه نشانی شده‌ و سپس به مدت 1 ساعت در دماهای مختلف، بازپخت صورت گرفت. با بررسی خواص اپتیکی این نمونه‌ها مشاهده شد که بعد از بازپخت، بازتاب از سطح در بازۀ طول موج 750-450 نانومتر از 7/2 به 23/0 درصد کاهش یافت. ضریب شکست نیز بعد از بازپخت نمونه‌ها کاهش پیدا کرد. همچنین با بررسی خواص ساختاری نمونه‌ها، فاز آناتاز برای قبل از انجام عملیات حرارتی و مخلوط آناتاز و روتایل و نیز افزایش شدت قله‌ها بعد از بازپخت نمونه‌ها مشاهده شد.

کلیدواژه‌ها
پوشش‌های پادبازتاب, کندوپاش, عملیات حرارتی