بررسی تأثیر نوع یون بر خواص انتقال و ترابردی با کاشت یون در تانتالوم
نویسندگان
1 گروه فیزیک، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامی، تهران
2 گروه فیزیک، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامی، تهران
3 گروه فیزیک، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامی، تهران
doi
10.47176/ijpr.23.2.11407چکیده
در این تحقیق بر روی سطوح تانتالوم توسط یون نیتروژن و آرگون با چگالی سطحی یونی تا (یون بر سانتی متر مربع) فرایند کاشت انجام شده است. فرایند کاشت یونی منجر به تغییر ریخت شناسی سطوح میشود و تمامی سطوح ناشی از این فرایند ناهموار هستند. این سطوح ناهموار به عنوان فصل مشترک در ساختارهای چندلایهای مورد استفاده قرار گرفته و بر خواص ترابردی این ساختارها اثر میگذارند. برای مطالعۀ ریختشناسی سطوح لایههای نازک کاشته شده یونی، از تحلیل میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) استفاده شده است. فرایند کاشت یونی منجر به تغییر ریخت شناسی سطوح میشود و تمامی سطوح ناشی از این فرایند ناهموار هستند. این سطوح ناهموار به عنوان فصل مشترک در لایۀ کاشته شده مورد استفاده قرار گرفته و بر خواص ترابردی این ساختارها اثر میگذارند. نتایج نشان میدهد که رابطهایی که با کاشت یون آرگون تولید شدهاند نسبت به یون نیتروژن تغییرات بیشتری دارد. همچنین نسبت قله ها به دره در دو مورد کاهش مییابد.. علاوه بر این، با افزایش چگالی سطحی یونی نیتروژن، چگالی جریان به عنوان تابعی از ولتاژ کاهش یافته است.
