فهرست نشریات علمی دسترسی آزاد ایران

خواص الکتریکی لایه‌های نازک زیرکونیوم با استفاده از تکنیک پروب لنگمایر مورد مطالعه قرار گرفته است. انرژی الکترون، چگالی الکترونی و چگالی یونی نمونه‌ّها در فشار کم و توان متغیر (60 تا 160 وات) اندازه‌گیری شد. نتایج ما نشان می‌دهد که انرژی الکترون‌ها با افزایش توان کاهش می‌یابد، در حالی که چگالی الکترون‌ها و یون‌ها افزایش یافته است. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) برای تعیین ضخامت و همچنین ریخت‌شناسی سطح لایه‌های نازک زیرکونیوم استفاده شد، که در آن ضخامت با افزایش توان مولد پلاسمای DC افزایش یافت. روش تجزیه و تحلیل طیف‌سنجی پرتو ایکس پراکنده انرژی (EDX) برای تعیین اطلاعاتی در مورد ترکیب فیلم‌ها استفاده شد. خصوصیات پلاسما و کیفیت لایه‌های تولید شده (زبری و ضخامت) به ما اجازه می‌دهد از این لایه‌ّها در چندین کاربرد بالقوه استفاده کنیم.