فهرست نشریات علمی دسترسی آزاد ایران

از آنجایی که برای انجام درست هرکاری ابتدا باید دانش و شناخت کافی از آن موضوع پیدا کنیم، ما در بخش نخست این مقاله ابتدا به مرور بر روش‌های مهم و اصلی لیتوگرافی نوری و طبقه‌بندی آنها می‌پردازیم. سپس به معرفی راه‌های بهبود تصاویر ایجاد شده روی فتورزیست که بستر اصلی لیتوگرافی است پرداخته و لیتوگرافی با ذرات پر انرژی و لیتوگرافی نرم را بررسی می‌کنیم. در بخش دوم مقاله روش فتولیتوگرافی تماسی و فرایند بهبود آن که در آزمایشگاه ما انجام شده است، با جزئیات معرفی و شرح داده می‌شود. از این روش برای لیتوگرافی جهت ساخت قطعات اپتیکی پراشی روی یک بستر شیشه‌ایی آلاییده شده به نانوذرات نقره توسط یک باریکة یون هلیوم استفاده کردیم. جهت کاهش اثر پراش، ما روش تماسی را برای کار خود سازگاز و بهینه‌سازی کردیم. راهکار ما که در این مقاله ارائه شده است برای سایر پژوهشگران در ایران عملی و در دسترس است