ساخت لایه های نازک نانو ساختارTiO2-SnO2 تهیه شده به روش های باریکه الکترونی و سل ژل به عنوان حسگر اتانول

نویسندگان

1 دانشکده علوم پایه، دانشگاه یزد ، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، سازمان انرژی اتمی، تهران

2 دانشکده علوم پایه، دانشگاه یزد

3 2. پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، سازمان انرژی اتمی، تهران

doi
10.29252/ijpr.18.2.235
چکیده

لایه های نازک نانوساختار 2-SnO2 TiOبروی زیرلایه شیشه به روش های باریکه الکترونی و سل ژل ساخته شدند. خواص ساختاری سطح، مورفولوژی و عبوراپتیکی لایه ها توسط پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و اسپکترومتر UV/VIS/NIR انجام پذیرفت. ضخامت لایه های نازک کمتر از 300 نانومتر اندازه گیری گردید. اندازه دانه ها در روش باریکه الکترونی 20 و در روش سل ژل 30 نانومتر تخمین زده شد. خواص حسگری لایه های نازک نانوساختار در حضور گاز اتانول با آهنگ شارش cc/min 2400، 2000 و 1800 دمای 200درجه سانتیگراد بررسی گردید.