طراحی و شبیهسازی فشارسنج و شتابسنج مبتنی بر مدارات مجتمع نوری با استفاده از اثر فوتوالاستیسیته لیتیوم نیوبات
نویسندگان
1 . مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران
2 . مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران
3 . مجتمع برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران
4 . دانشکده مکانیک، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد رودهن
doi
10.18869/acadpub.ijpr.16.1.45چکیده
در این مقاله فشارسنج و شتابسنج نوری جدیدی مبتنی بر ادوات میکروالکترواپتومکانیک با استفاده از تداخلسنج ماخ- زندر مجتمع در دریچه لیتیوم نیوبات طراحی شده است. در این حسگر با اعمال فشار و شتاب، دریچه دچار کرنش میشود و به علت اثر فوتوالاستیسیته تغییرات ضریب شکست در موجبر نوری واقع در دریچه ایجاد میشود. تغییر ضریب شکست، باعث تأخیر فاز نور منتشر شده در موجبر گردیده و این تغییر فاز توسط تداخلسنج ماخ- زندر، به تغییرات شدت نور تبدیل میشود، برای محاسبه تنش ایجاد شده در دریچه از نرمافزار 5/14 ANSYS استفاده شد و حساسیت فشارسنج و شتابسنج طراحی شده به ترتیب (rad/Pa)4-10×33/2 و (rad.s2/m)5-10×16/2به دست آمد.
