ارائه روشی نوین برای ساخت یک ریزمخلوطگر الکترواسمتیکی با الکترودهایی در دو سمت برای کاربردهای زیست-فناوری
نویسندگان
1 دانشگاه تبریز - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
2 دانشگاه تبریز - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
3 دانشگاه رازی - دانشکده فنی و مهندسی
doi
چکیده
در این تحقیق، روشی ساده، کمهزینه و نوین برای ساخت ریزالکترودهایی در دو سمت کانال سیال بهمنظور کاربرد برای ریزمخلوطگر الکترواسمتیکی ارائه میشود. وجود الکترود در دو سمت ریزکانال، مشخصههای یکتا برای کاربردهایی مانند مطالعات سلولهای زیستی، الکتروکینتیکس، دیالکتروفورسیس و غیره به همراه دارد. پروسه ساخت شامل لیتوگرافی نوری، لایه نشانی برای ایجاد الکترودها، انطباق دقیق و پیوند دو ویفر میباشد. در مقایسه با سایر روشها برای ساخت الکترودهایی در دو سمت، در این روش نیازی به شرایط آزمایشگاهی بسیار سخت و پیچیده، پروسه سنگین و تجهیزات گرانقیمت نیست. آنالیز عددی بر روی توزیع میدان الکتریکی برای دو حالت آرایش الکترودی در دو وجه و تنها یک وجه از ریزکانال انجام گرفته است تا برتری آرایش الکترودی در دو سمت را نشان دهد. در این مقاله، تراشه ساخته شده و نتایج عملی، ارائه شده و در نهایت تأثیر عدم انطباق کامل بهدلیل وجود لایهای از SU-8 نشان داده شده است. تکنیک پیشنهادی جایگزین مناسبی در مقابل الکترودهای یک سمته میباشد. سادگی پروسه، روشی آسان برای ساخت سریع ریزالکترودهایی در دو سمت از ریزکانال بهمنظور اختلاط سیالات فراهم میآورد.
