اندازهگیری ضخامت و زبری لایههای نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی
نویسندگان
1 دانشگاه تهران
2 دانشگاه تهران
doi
چکیده
بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازهگیری میزان جابهجایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست میآید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامتهای کم و کاهش خطاهای اندازهگیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم میشود. با اندازهگیری میزان جابهجایی فریزهای تداخلی، امکان اندازهگیری ضخامت لایههای نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم میشود. همچنین با بهرهگیری از جابهجایی نمودار شدت و استفاده از اعوجاجهای موجود در نمودار شدت فریزهای تداخلی، زبری سطح نمونه با دقت 2 نانومتر اندازهگیری میشود. نتایج مقایسه هر دو اندازهگیری با روشهای سنجش مستقیم، حاکی از صحت روش پیشنهاد شده است.
