استفاده از روش جذب تشدیدی برای اندازهگیری چگالی اتمهای مس در لایه نشانی به روش کندوپاش پلاسمایی
نویسندگان
1 دانشگاه تبریز
2 دانشگاه گرونوبل فرانسه
3 دانشگاه تبریز
doi
چکیده
در این مقاله چگالی اتمهای مس که به عنوان هدف انتخاب شده است با روش طیف نگاری جذبی تشدیدی برای فشارهای مختلف گاز کاری و توانهای مختلف منبع تغذیه سیستم پلاسما اندازهگیری شده است. به عنوان منبع نور برای طیف نگاری جذبی تشدیدی از یک لامپ کاتد توخالی مس (Cu hollow cathode lamp) استفاده شده است. ضمنا با اضافه کردن درصد مناسبی از نیتروژن به گاز کاری آرگون با استفاده از طیف دورانی مولکول نیتروژن و با بهرهگیری از یک برنامه کامپیوتری مناسب دمای گاز به دست آمده است.