معرفی و بررسی عملکرد تشدیدگرهای میکرومکانیکی

doi
چکیده

امروزه با پیشرفت‌های صورت‌گرفته در زمینة ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی، قطعات میکرومکانیکی کاربردهای گسترده‌تری یافته‌اند. از جمله این قطعات پرکاربرد، تشدیدگرهای میکرومکانیکی است. تشدیدگرهای میکرومکانیکی ابعادی کوچک و فرکانس‌های تشدید بالایی دارند. امروزه از این تشدیدگرها در سیستم‌های ارتباطی بی‌سیم و ناوبری، فیلترها، میکروسکوپ اتمی، ژیروسکوپ‌های ارتعاشی، حسگرهای جرم، فشار، کرنش، نیرو، شتاب‌، دما و زیستی استفاده می‌شود. با توجه به اهمیت و کاربرد گستردة تشدیدگرها، در این مقاله، نخست انواع تشدیدگرها، کاربردها، مزایا، نحوة عملکرد آنها در سیستم‌های ارتعاشی، مواد سازنده‌ و انواع روش‌های تحریک و تشخیص در آنها معرفی پس از آن پارامتر ضریب کیفیت و نحوة محاسبة آن تشریح می‌شود. در ادامه انواع سازوکارهای اتلاف انرژی، مدهای ارتعاشی و پارامتر مقاومت حرکتی در تشدیدگرها توضیح داده می‌شود و در نهایت مشخصات انواع تشدیدگرهای متداول ارائه می‌گردد.