معرفی و بررسی عملکرد تشدیدگرهای میکرومکانیکی
نویسندگان
1
2
3
doi
چکیده
امروزه با پیشرفتهای صورتگرفته در زمینة ساخت سیستمهای میکروالکترومکانیکی، قطعات میکرومکانیکی کاربردهای گستردهتری یافتهاند. از جمله این قطعات پرکاربرد، تشدیدگرهای میکرومکانیکی است. تشدیدگرهای میکرومکانیکی ابعادی کوچک و فرکانسهای تشدید بالایی دارند. امروزه از این تشدیدگرها در سیستمهای ارتباطی بیسیم و ناوبری، فیلترها، میکروسکوپ اتمی، ژیروسکوپهای ارتعاشی، حسگرهای جرم، فشار، کرنش، نیرو، شتاب، دما و زیستی استفاده میشود. با توجه به اهمیت و کاربرد گستردة تشدیدگرها، در این مقاله، نخست انواع تشدیدگرها، کاربردها، مزایا، نحوة عملکرد آنها در سیستمهای ارتعاشی، مواد سازنده و انواع روشهای تحریک و تشخیص در آنها معرفی پس از آن پارامتر ضریب کیفیت و نحوة محاسبة آن تشریح میشود. در ادامه انواع سازوکارهای اتلاف انرژی، مدهای ارتعاشی و پارامتر مقاومت حرکتی در تشدیدگرها توضیح داده میشود و در نهایت مشخصات انواع تشدیدگرهای متداول ارائه میگردد.