مشخصه‌یابی پوشش‌های سخت Me (SiCN) (فلزات واسطهMe = ) و تاثیر آنها در بهبود عملکرد زیرآیند

نویسندگان

1 دانشجوی دکترا، دانشکده مهندسی، دانشگاه شهید بهشتی، تهران، ایران، صندوق‌پستی: ۶۹۴۱۱ – ۱۹۸۳۹.

2 دانشیار، گروه پژوهشی نانو فناوری رنگ، پژوهشگاه رنگ، تهران، ایران ، صندوق پستی: 654 – 16765.

3 دانشیار، دانشکده مهندسی، دانشگاه شهید بهشتی، تهران، ایران، صندوق پستی: ۶۹۴۱۱ - ۱۹۸۳۹

4 دانشیار، گروه پژوهشی روکش‌های سطح و خوردگی، پژوهشگاه رنگ، تهران، ایران ، صندوق پستی: 654 – 16765.

doi
چکیده

طول عمر و کارایی تجهیزات صنعتی، عمدتاً به ساختار و نحوه عملکرد آنها در محیط‌های مهاجم وابسته است. به همین منظور، حفاظت از سطح تجهیزات از اهمیت بالایی برخوردار است. در دهه‌‌‌های اخیر،‌ پوشش‌های سخت چند‌جزئی به شدت مورد توجه جوامع علمی و صنعتی قرار گرفته است. تاکنون، انواع مختلفی از پوشش‌های چند جزئی بر پایه فلزات واسطه، همچون کرم، تیتانیم و فلزات واسطه دیرگداز، به طور گسترده برای استفاده به عنوان پوشش‌های محافظ مورد استفاده قرار گرفته‌اند. با این حال، دیگر اجزای تشکیل‌دهنده پوشش‌های بر پایه فلزات مذکور (به عنوان مثال کربن، نیتروژن و سیلیکون)، ریخت‌شناسی سطح و اندازه دانه‌ها، نقش بسیار مهمی در خواص و کاربرد آنها خواهد داشت. به عنوان مثال پوشش‌های دو جزئی نیتریدی نمی‌توانند عملکرد خوبی در شرایط سایشی داشته باشند، در حالی‌که پوشش‌های دو جزئی کاربیدی کاندید‌های قابل‌توجهی برای این شرایط هستند. با این حال، پوشش‌های نازک سه‌جزئی کربو نیترید، می‌توانند خواص مکانیکی و عملکرد سایشی و اصطکاک بهتری را نسبت به پوشش‌های دو جزئی ارائه دهند. از سوی دیگر، برخی از خواص پوشش‌های مبتنی بر فلزات واسطه مانند مقاومت در برابر اکسیدشدن، تنش پسماند و عملکرد اصطکاکی را می‌توان با دوپ‌کردن سیلیکون (Si) به میزان قابل‌توجهی بهبود بخشید.