اصلاح مورفولوژی سطحی پوشش تنگستنی ایجاد شده به روش پاشش پلاسمایی اتمسفری به منظور کاربرد در لامپ تولید پرتو ایکس
نویسندگان
1 کارشناس ارشد خوردگی و حفاظت از مواد، دانشکده مهندسی و علم مواد دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایران
2 استادیار، گروه خوردگی و حفاظت از مواد، دانشکده مهندسی و علم مواد دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایران
doi
چکیده
پوششهای ضخیم تنگستن در ساخت آند لامپهای تولید پرتو ایکس مورد استفاده در تجهیزات تشخیص پزشکی کاربرد دارند. با توجه به اهمیت صافی سطح آند در کیفیت تصویر رادیولوژی حاصل، لازم است قطعه آند تا حد امکان زبری سطحی پایینی داشته باشد و بتواند این زبری پایین را در شرایط کاری دمای بالا حفظ نماید. به منظور بهبود کارآیی این لامپها مورفولوژی سطحی پوششهای تنگستنی اعمال شده به روش پاشش پلاسمایی اتمسفری بلافاصله پس از پوششدهی، بعد از عملیات آنیل در اتمسفر هیدروژن و پس از نشاندن لایهای نازک از تنگستن به روش رسوب شیمیایی بخار مطالعه شد. آنیل هیدروژنی در اتمسفر هیدروژن مرطوب و دمای °C 1500 به مدت 90 دقیقه انجام شد. رسوب شیمیایی بخار به روش دفن نمونهها در بستری از پودر اکسید تنگستن و سپس احیای پودر در اتمسفر هیدروژن مرطوب در °C1000 اجرا شد. ریزساختار سطحی پوشش با استفاده از تصاویر میکروسکوپی الکترونی روبشی، آنالیز شیمیایی طیفسنجی پراکندگی انرژی، زبریسنجی مکانیکی و پراش پرتو ایکس ارزیابی شد. نتایج نشان داد که عملیات تکمیلی در نظر گرفته شده قادر است ریخت سطحی را از حالت اکسید شده و زبر به یک ساختار ستونی ظریف با زبری میانگین کمتر از 1 میکرومتر تغییر دهد.