تشدیدگرهای الکترومکانیکی بر پایه نانوساختارها
نویسندگان
1 پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه صنعتی شریف
2 دانشکده برق دانشگاه صنعتی شریف
3 دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی شریف
doi
چکیده
اخیراً ساخت تشدیدگرها در ابعاد نانو با بسامد تشدید بالا یکی از موضوعهای مورد تحقیق و توجه می باشد. جذابیت این ساختارها در تواناییشان به عنوان حسگر، فعالساز و قابلیت مکانیکیشان در ابعاد نانو می باشد. در این مقاله مروری بر سیستمهای الکترومکانیکی معرفی شده بر پایه نانوساختارهای متنوع، انواع روشهای تحریک و آشکارسازی و کاربرد این سیستم ها در حسگری جرم و فشار ارائه شده است.
