مدل‌سازی و شبیه‌سازی مقایسه‌ای پلاسمای تولیدشده به کمک مایکروویو با توان‌های ورودی متفاوت

نویسندگان

1 عضو هیات علمی دانشگاه آزاد واحد ارس

doi
10.30473/jphys.2024.71789.1201
چکیده

فناوری پلاسما در بسیاری از کشورها در زمینه‌های مختلفی مانند تولید ازن، تصفیه سطح، اصلاح سطح، پزشکی و غیره استفاده می‌شود. پلاسمای تولیدشده با امواجی مانند مایکروویو، یک فناوری امیدوارکننده و جالب برای ویژگی‌های منحصر به فرد و همه کاره آن است. این ویژگی‌های پلاسمای مایکروویو یک فناوری جایگزین در مقایسه با راکتورهای شیمیایی حرارتی سنتی به شرط رفع چالش‌های فنی خاص آن است. در این مطالعه عددی، خواص پلاسمای مایکروویو با فرکانس 45/2 گیگاهرتز و گاز آرگون در فشار اتمسفر بررسی شد. با تغییر توان ورودی دستگاه در محدوده 10 وات تا 20 وات در حالت مغناطیسی و مد (TM)، پروفایل‌های مقایسه‌ای چگالی الکترون، دمای الکترون، میدان الکتریکی نشان داده می‌شود. نتایج شبیه‌سازی، تولید المان‌های شیمیایی در پلاسمای مایکروویو را نشان می‌دهد. الکترون‌های پرانرژی و چگالی الکترون به‌عنوان عوامل اصلی مؤثر بر خواص پلاسمای مایکروویو در نظر گرفته شده‌اند.