شبیهسازی میکرو سنسور اندازهگیری با استفاده از بلور فوتونی
نویسندگان
1 گروه مهندسی برق، دانشگاه پیام نور
doi
چکیده
در این مقاله با استفاده از ساختارهای بلور فوتونی دو بعدی، یک میکروسنسور جابهجایی طراحی کردیم. این ساختار شامل یک ششضلعی است که در هر ضلع آن 7 حفره قرار گرفته است. جنس حفرهها هواست که در یک زمینۀ سیلیکونی قرار داده شده است. حفرهها در یک آرایش مثلثی چیده شدهاند. در این میکروسنسور ابتدا با استفاده از شبیهسازی روش تفاضل محدود حوزۀ زمان مقادیر بهینه فرکانس کاری و ثابت شیکه بلور فوتونی محاسبه شد. شدت موج منتشر شده در فاصله دو میکرومتری سمت چپ ساختار به دست آمد. در این فاصله تغییرات موج منتشر شده نسبت به جابجایی تغبیرات خطی داشت. حساسیت این سنسور به دست آمد. بنابر مقادیر به دست آمده این ساختار در طول موج مناسب قابلیت استفاده به عنوان میکروسنسور را دارد که از حساسیت بسیار خوبی نیز برخوردار است. این میکروسنسور جابجایی در سیستمهای اندازهگیری مانند سیستمهای میکروالکترومکانیکی، فضایی - هوایی، مانیورینگ سلامتی و نیز در بسیاری از حوزههای مهندسی کاربرد دارد.
