تاثیر غلظت آلاینده اکسید قلع بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه‌های نازک اکسید ایندیم تهیه شده به روش تبخیر با باریکه الکترونی

نویسندگان
doi
چکیده

در این کار تجربی لایه‌های نازک اکسید ایندیم آلاییده با اکسید قلع  (ITO) با ترکیب‌های مختلفی از 60 تا wt%95 اکسید ایندیم و 40 تا wt%5 اکسید قلع با استفاده از روش تبخیر با باریکه الکترونی بر روی زیرلایه‌های شیشه‌ای نهشته شدند. لایه‌ها پس از نهشت، به مدت 3 ساعت در هوا در دمای Cْ450 تحت عملیات حرارتی قرار گرفتند. تاثیر غلظت آلاینده اکسید قلع با تغییر غلظت آن از 5 تا wt%40 بر روی خواص ساختاری و اپتیکی این لایه‌ها بررسی و مشاهده شد که با افزایش غلظت آلاینده تا wt%20، گاف باندی و اندازه دانه‌ها افزایش می‌یابد. بیشترین گاف انرژی و بیشترین اندازه دانه به ترتیب برابر eV71/3 و nm23 در لایه‌های با wt%20 اکسید قلع برآورد گردید .