تأثیر فرایند سینتر بر خواص الکتریکی و ریزساختاری تارگت کندوپاش و لایه ی نازک باریوم استرانسیوم تیتانات
نویسندگان
1 پژوهشگاه مواد و انرژی، پژوهشکده سرامیک، کرج، ایران
2 پژوهشگاه مواد و انرژی، پژوهشکده نیمه هادیها، کرج، ایران
doi
10.30501/jamt.2017.70374چکیده
در این پژوهش، اثر دمای سینتر بر ریزساختار بدنه های Ba0.5Sr0.5TiO3 و خواص الکتریکی لایه های نازک ایجاد شده به روش کندوپاش مورد بررسـی قرار گرفت. ترکیب سرامیکی Ba0.5Sr0.5TiO3 تک فاز و بدون ناخالصی با استفاده از روش حالت جامد سنتز شد. به منظور بهینه یابی دمای پخـت، ایـن ترکیـب درمحدوده دمای ºC 1200 تا 1400 ºC سینتر شد. نتایج نشان داد که نمونه ی سینترشده در دمای 1250 ºC از %95 چگالی نسبی و میانگین انـدازه دانـه هـای 8 µm برخوردار می باشد که به منظور استفاده برای تارگت کندوپاش مناسب می باشد. گاف انرژی لایه ی نازک اعمال شده از تارگت ساخته شده تحت شـرایط بهینـه eV 3/4 و ثابت دی الکتریک آن در فرکانس 10 kHz برابر با 4400 به دست آمد که نشان دهنده ی خواص مطلوب لایه های نازک این ترکیب از تارگت سـاخته شـده ی آن برای کاربردهای خازنی می باشد. به منظور بررسی های ریزساختاری، فازی و خواص الکتریکی از آزمون های ،XRD میکروسکوپی نوری، اندازه گیـری چگـالی، UV-Vis و اندازه گیری ثابت دی الکتریک استفاده شد