تهیه لایه نازک سولفید روی دوپ شده با نقره به روش کندوپاش مغناطیسی فرکانس رادیویی
نویسندگان
doi
/amnc.2012.1.3.5چکیده
در این تحقیق، لایههای نازکی از سولفید روی دوپ شده با نقره (ZnS:Ag) با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی فرکانس رادیویی (RF) بر روی زیرلایههای شیشه لایه نشانی شدند. برای حصول لایه نازک بهینه، فشارهای کاری مختلف در محدود torr 3-10×5/1 تا torr 1-10×1 مورد بررسی قرار گرفتند. لایههای نازک بدست آمده با استفاده از پراش پرتوی ایکس (XRD)، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، طیف سنجی جذب اتمی (AAS) و آنالیز میکروپروب اشعه ایکس (XPMA) مورد شناسایی قرار گرفتند. نتایج نشان داد که فشار کاری torr 2-10×5 بهترین پوشش را از نظر ترکیب شیمیایی و مورفولوژی حاصل میکند.