فهرست نشریات علمی دسترسی آزاد ایران

دمای زیرلایه نقش مهمی در تحرک گونه­ های کربنی و سازوکار رشد و تشکیل لایه کربن آمورف با مشخصه شبه ­الماسه دارد. ساختار کربن آمورف تحت تأثیر دمای زیرلایه می­ تواند به سمت ساختار شبه ­الماسه و شبه ­گرافیته ­تغییر کند. از­این­رو در پژوهش حاضر، تغییرات ساختاری پوشش کربن شبه ­الماس با تغییر دمای زیرلایه توسط فرایند رسوب­دهی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور، پارامتر دمای زیرلایه جهت لایه ­نشانی پوشش کربن شبه­الماس، مقادیر 80، 110 و 140 درجه سلسیوس در نظر گرفته شد. جهت ارزیابی ساختار و ترکیب شیمیایی پوشش­ های ایجادشده تحت تأثیر دمای زیرلایه، از آنالیزهای طیف ­سنجی رامان و فوتوالکترون پرتوی ایکس (XPS) و برای ارزیابی ضخامت و زبری سطح پوشش­ های اعمالی، از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) و نیروی اتمی (AFM) استفاده شد. مطابق با نتایج، کمترین مقدار زبری سطح پوشش کربن شبه­ الماس، در دمای زیرلایه 110 درجه سلسیوس مشاهده شد. همچنین کمترین مقدار I D /I G و بیشترین میزان پیوند sp 3 ، در دمای زیرلایه 110 درجه سلسیوس بدست آمد.