تأثیر فرایند سینتر بر خواص الکتریکی و ریزساختاری تارگت کندوپاش و لایه ی نازک باریوم استرانسیوم تیتانات
نویسندگان
1
2
doi
10.30501/jamt.2017.70374چکیده
در این پژوهش، اثر دمای سینتر بر ریزساختار بدنه های Ba 0.5 Sr 0.5 TiO 3 و خواص الکتریکی لایه های نازک ایجاد شده به روش کندوپاش مورد بررسـی قرار گرفت. ترکیب سرامیکی Ba 0.5 Sr 0.5 TiO 3 تک فاز و بدون ناخالصی با استفاده از روش حالت جامد سنتز شد. به منظور بهینه یابی دمای پخـت، ایـن ترکیـب در محدوده دمای º C 1200 تا 1400 º C سینتر شد. نتایج نشان داد که نمونه ی سینترشده در دمای 1250 º C از %95 چگالی نسبی و میانگین انـدازه دانـه هـای 8 µm برخوردار می باشد که به منظور استفاده برای تارگت کندوپاش مناسب می باشد. گاف انرژی لایه ی نازک اعمال شده از تارگت ساخته شده تحت شـرایط بهینـه eV 3/4 و ثابت دی الکتریک آن در فرکانس 10 kHz برابر با 4400 به دست آمد که نشان دهنده ی خواص مطلوب لایه های نازک این ترکیب از تارگت سـاخته شـده ی آن برای کاربردهای خازنی می باشد. به منظور بررسی های ریزساختاری، فازی و خواص الکتریکی از آزمون های ، XRD میکروسکوپی نوری، اندازه گیـری چگـالی، UV-Vis و اندازه گیری ثابت دی الکتریک استفاده شد