تأثیر تابع پتانسیل بر شبیهسازی دینامیک مولکولی فرآیند ماشینکاری نانومتری سیلیکون تککریستال
نویسندگان
1 صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
2 صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
doi
10.22067/fum-mech.v30i2.71972چکیده
فرآیند ماشینکاری نانومتری روشی پیشرفته جهت ساخت قطعات ترد سیلیکونی با صافی سطح نانومتری میباشد. با استفاده از شبیهسازی دینامیک مولکولی این فرآیند میتوان به جزئیات ارزشمندی از مکانیزم ماشینکاری دست یافت. انتخاب تابع پتانسیل مناسب، اصلیترین پارامتر در تعیین نتایج یک شبیهسازی دینامیک مولکولی میباشد. در این مقاله از ترکیب سه تابع پتانسیل مورس، ترسوف و استیلینگر-وبر جهت تعریف اندرکنشهای بین ذرهای استفاده شده است. مکانیزم ماشینکاری، دمای قطعهکار، نیروهای ماشینکاری، انرژی سیستم و آسیبهای زیر سطحی قطعهکار مواردی بودند که جهت مقایسه این توابع پتانسیل مورد مطالعه قرار گرفتند. نتایج نشان داد که استفاده از ترکیب تابع پتانسیل مورس و ترسوف، سبب تغییر مکانیزم ماشینکاری به حالت ترد گردیده و انرژی سیستم را تا حد 3/7 % کاهش میدهد. همچنین مشخص گردید که اندرکنش بین اتمهای ابزار و قطعهکار تأثیر بیشتری در تعیین دمای قطعهکار و نیروهای ماشینکاری دارد.
