فهرست نشریات علمی دسترسی آزاد ایران

در این مقاله، حساسیت آشکارساز مادون‌قرمز میکروکانتیلیور با بهینه‌سازی ابعاد هندسی افزایش می‌یابد. بدنه اصلی آشکارساز از جنس  شامل ناحیه جاذب، بازوهای دوماده‌ای و ایزوله‌کننده است. نواحی دوماده‌ای (ناحیه جاذب و بازوهای دوماده‌ای) شامل یک‌لایه نازک آلومینیوم است که برروی لایه عایق قرارگرفته است. در این آشکارساز، میزان خمش آشکارساز به ضخامت لایه‌ها (عایق و فلز) و عرض بازوها (ایزوله‌کننده و دوماده‌ای) بستگی دارد. همچنین اثبات‌شده است که با انتخاب ضخامت لایه فلز به‌اندازه نصف ضخامت لایه جاذب، میزان جابه‌جایی و حساسیت به حداکثر مقدار خود می‌رسد. نتایج حاصل از محاسبات نشان می‌دهد که با اعمال شرایط مرزی به ازای شار حرارتی ثابت 100 بر روی ناحیه جاذب، میزان جابه‌جایی، حساسیت‌های ترمومکانیکی، توانی، جابه‌جایی و حساسیت به دمای جسم به ترتیب 26%، 27%، 28%،3/2% و 26% نسبت به ابعاد اولیه افزایش می‌یابند. همچنین، چنانچه فرآیند ساخت بهبود یابد و پهنای بازوها، ضخامت لایه عایق و فلزی به ترتیب  μm1، μm0/1 و μm0/05 انتخاب گردند، مقدار دما، میزان جابه‌جایی، ضریب انتقال دما، حساسیت‌های ترمومکانیکی، توانی، دمایی، جابه‌جایی، حساسیت به دمای جسم و ثابت زمانی در محیط خلأ به ترتیب 4/72، 54، 4/12، 12/8، 54، 4/2، 48/54، 54 و 1/5 برابر بهبود می‌یابند.