فهرست نشریات علمی دسترسی آزاد ایران

میکرومحرک‌های پیچشی در کاربردهای متعددی از جمله سوئیچ‌های نوری، تصویربرداری زیست پزشکی و نورشناسی مورد استفاده قرار می‌گیرند. میرایی لایه هوای فشرده یکی از مکانیز مهای اتلاف انرژی در این میکرومحرک‌ها می‌باشد. این میرایی، یک عامل کلیدی در تع یین عملکرد دینامیکی سیستم‌های میکروالکترومکانیکی می‌باشد که به طور گسترده مورد توجه محققان قرار گرفته است. هدف از این مقاله نیز، مدل‌سازی میرایی لایه هوای فشرده در میکرومحرک‌های پیچشی دو محوره با درنظر گرفتن اثر خمشی تیرهای نگهدارنده می‌باشد. بدین منظور ابتدا معادله رینولدز حاکم بر رفتار هوا حبس شده در زیر میکرومحرک نوشته و سپس با توجه به شرایط مسئله و صر فنظر از اثرات اینرسی هوا در مقایسه با اثرات لزجت، معادله رینولدز، ساده‌سازی شده است. معادله حاصل پس از بی‌بعدسازی، با استفاده از روش گسترش یافته‌ی کانتروویچ، حل شده و توزیع فشار هوای فشرده به دست آمده است. از توزیع فشار حاصله به منظور محاسبه نیرو و گشتاور میرایی لایه هوای فشرده استفاده شده است. در ادامه، تأثیر پارامترهای طراحی میکرومحرک دو محوره روی گشتاورهای میرایی بررسی شد و برای تحلیل دقیق‌تر اثر این پارامترها برروی گشتاورها و نیروی بابعد نیز مورد مطالعه قرار گرفت. از نتایج این مقاله می‌توان به خوبی برای مدل‌سازی دقیق دینامیک و کنترل میکرومحرک‌های پیچشی استفاده کرد.