طراحی و اتصال عناصر یک سیستم سنسوری دو تشدیدگر موج سطحی برای کار در دمای بالا با استفاده از موجبر هم صفحه

نویسندگان
saba hashemi ID 1
abbas akhavan sepahi ID 2

1 دانشگاه علوم پزشکی تهران

2 دانشگاه علوم پزشکی تهران

doi
چکیده

روش‌های اندازه‌گیری بی سیم با استفاده از سیستم‌هایی که نیاز به باتری نداشته باشند، در محیط‌های پر خطر دارای جذابیت بسیاری است. در این مقاله روش طراحی یک سیستم سنسوری با دو تشدیدگر موج سطحی در دمای بالا بررسی شده است. روش طراحی القاگر مارپیچی و خازن اینتردیجیت که در مدار تطبیق امپدانس این سیستم به کار می‌روند، برای کاربردهای دمای بالا معرفی شده است. نحوة اتصال این عناصر در سطح دوم با استفاده از موجبر هم صفحه مورد بررسی قرار گرفته است. پیاده‌سازی این سیستم با استفاده از روش فیلم ضخیم انجام شده و در نهایت نتایج اندازه‌گیری آن تا دمای 410C ارائه شده است.

کلیدواژه‌ها
High temperature, دمای بالا, تشدیدگر موج سطحی, القاگر مارپیچی, خازن اینتردیجیت, موجبر هم صفحه, Surface Acoustic Wave Resonator, Meander Inductor, Interdigital Capacitor, Coplanar WaveGuide