مطالعه روش های ساخت لایه های نازک و کاربردهای آن ها در مسائل محیط زیست
نویسندگان
1 گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اهر، اهر، ایران
doi
چکیده
در این مقاله، تکنیک های مختلف ساخت لایه های نازک و همچنین کاربردهای آن ها در مسائل محیط زیست مورد مطالعه قرار گرفته است. ضخامت لایههای نازک معمولاً در محدوده بین ۵۰ و ۵۰۰۰ آنگستروم قرار می گیرد. روش های ساخت لایه های نازک، عمدتاً به دو صورت فیزیکی و شیمیایی انجام می گیرد. با کاهش ضخامت یک لایه نازک، رسانایی الکتریکی آن، کاهش و مقاومت الکتریکی آن، افزایش می یابد. همچنین کاهش ضخامت لایه، منجر به کاهش شدت مغناطیسی آن می گردد. از طرف دیگر، به علت افزایش میزان سطح به حجم در لایههای نازک، سرعت تغییر دما و واکنش شیمیایی نسبت به حالت توده ای افزایش می یابد. از جمله عوامل مؤثر بر کیفیت یک لایه نازک می توان به ساختار زیرلایه، سرعت لایه نشانی، دمای زیرلایه و نوع خلاء اشاره کرد.