طراحی، شبیه‌سازی و ساخت سوئیچ خازنی RF MEMSبر روی بستر آلومینا

نویسندگان
دل آرام فریمانی, سعید ID 1
عرفانیان, علیرضا ID 2
حاج قاسم, حسن ID 3
علی احمدی, مجیدرضا ID 4

1

2

3

4

doi
چکیده

در این مقاله طراحی، شبیه­سازی و ساخت یک سوئیچ خازنی RF MEMS موازی کم تلف بروی موجبر هم­صفحه و بستر عایق آلومینا، در باند فرکانس GHz 60-40 ارائه شده است. مکانیزم تحریک این سوئیچ بصورت الکترواستاتیکی است. ابتدا موجبر هم­صفحه برای داشتن امپدانس مشخصه Ω50 بروی بستر عایق آلومینا طراحی شده، سپس ...

کلیدواژه‌ها
سوئیچ RF MEMS, موجبر هم صفحه, تحریک الکترواستاتیکی, تلفات داخلی, ایزولاسیون