طراحی و ساخت میکروآیینه شکلپذیر پلیمری جهت استفاده در سیستمهای اپتیک تطبیقی
نویسندگان
1 مجتمع مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه مالک اشتر-تهران
2 مجتمع مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه مالک اشتر-تهران
3 دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی واحد رودهن
doi
چکیده
دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف­پذیر پلیمری مبتنی­بر عملگرالکترواستاتیک ارائه شده­است. میکروآیینه­های انعطاف­پذیر معمولاً در سیستم­های اپتیک تطییقی جهت تصحیح اعوجاج­های موجود در جبهه موج نور بکار می­روند ازاین­رو می­بایست دارای دیافراگمی منعطف باشند. در این تحقیق دیافراگم میکروآئینه، از جنس پلیمرSU-8 ساخته شده و بر روی آرایه­ای از ...
