تشخیص خودکار عیوب ویفر در مدارهای مجتمع با بهره‌گیری از مدل‌های یادگیری عمیق

نویسندگان
سوری, علی ID 1
مودّتی, سمیرا ID 2
غلامی, محمد ID 3

1 دانشکده مهندسی و فناوری- دانشگاه مازندران

2 دانشکده مهندسی و فناوری- دانشگاه مازندران

3 دانشکده مهندسی و فناوری- دانشگاه مازندران

doi
10.66224/jiaeee.22.4.28
چکیده

در این پژوهش، یک رویکرد مبتنی بر یادگیری عمیق برای تشخیص خودکار عیوب ویفر در مدارهای مجتمع ارائه شده است. برای این منظور، از چندین مدل عمیق شامل شبکه‌های بازگشتی(RNN)، VGG16، MobileNet، GoogleNet، معماری‌های مبتنی بر ResNet و DenseNet121 استفاده گردید. مجموعه‌داده‌ی به‌کاررفته شامل تصاویر ویفر دارای انواع مختلف نقص بوده ...

کلیدواژه‌ها
تشخیص عیوب ویفر, صنعت نیمه هادی, مدارهای مجتمع, پردازش تصویر, شبکه های کانولوشنالی عمیق