ساختار متعامد چهار سیمی برای اندازه گیری دقیق سرعت و جهت فلوی سیال و باد با استفاده از میکرو ماشینکاری سیلیکان روی غشاء نیترید سیلیکان
نویسندگان
1 دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران
2 دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران
3 دانشکده علوم و فنون نوین- دانشگاه تهران
doi
10.52547/jiaeee.20.1.1چکیده
حسگرهای میکرو الکترومکانیکی حرارتی یکی از دقیقترین و مهترین ابزارها برای تشخیص جهت و شدت یک سیال و موج آکوستیکی به حساب می­آیند. تشخیص جهت و سرعت باد و هر سیالی در رنجهای مختلف کاربردهای مختلف از جمله هواشناسی، نیروگاه­های بادی، اندازه گیری فلوی گاز در کنتورهای هوشمند شهری و گاز ورودی به نیروگاه های گازی، ...
