طراحی، شبیهسازی و بهینهسازی سوئیچ خازنی میکروالکترومکانیکی RF بهمنظور کاهش ولتاژ تحریک
نویسندگان
1 دانشکده مهندسی برق- دانشگاه علم و صنعت ایران
2 دانشکده مهندسی برق- دانشگاه علم و صنعت ایران
doi
10.52547/jiaeee.19.2.1چکیده
بالا بودن ولتاژ تحریک یکی از مهمترین محدودیتهای سوئیچهای RF MEMS است. یکی از روش­های کاهش ولتاژ تحریک، کاهش ثابت فنری در ساختار سوئیچ است. در این مقاله ثابت فنری سوئیچ RF MEMS با روش انرژی مدل شده و ثابت فنری آن بهصورت تحلیلی بهدستآمده است. نتیجه این تحلیل یک راهنمای ...
