طراحی، تحلیل و شبیه سازی میکروسنسور شیب خازنی
نویسندگان
1 بخش مهندسی برق- دانشگاه شهید باهنر- کرمان
2 بخش مهندسی برق- دانشگاه شهید باهنر- کرمان
doi
10.52547/jiaeee.19.3.113چکیده
در این مقاله برای اندازهگیری زاویه حول محور افقی (x)، میکروسنسور های شیب خازنی مبتنی بر تکنولوژی MEMS طراحی، تحلیل و شبیهسازی شده اند. ساختار هر میکروسنسور استوانهای شکل است که خازن های بین انگشتی با الکترودهایی از جنس مس، بر روی یکی از قاعده های آن قرار گرفته اند. الکترودهای ...
