طراحی وساخت حسگراکسید قلع با حساسیت بالا به روش سل ژل وتکنیک لایه نشانی چرخشی

doi
چکیده

در این مقاله مراحل ساخت حسگر گاز اکسید قلع با روش سل ژل  به کمک دستگاه spinner در دمای   گزارش شده است. برای ساخت لایه­های نازک اکسید قلع از   و برای لایه نشانی از شیشه به عنوان پایه استفاده شده است. عمل spin-coating با استفاده از دستگاه spinner و با سرعتهای مختلف، ...