فهرست نشریات علمی دسترسی آزاد ایران

غشا سرامیکی غشا چندسازه‌ای است که شامل سه لایه است. لایه اول پایه با حفرات ماکرو، لایه دوم پایه با حفرات مزو و لایه سوم سیلیکا با حفرات میکرو است که نقش اصلی جداسازی را لایه سوم برعهده دارد. لذا کیفیت و یکنواختی این لایه مهم بوده و یکنواختی آن به‌طور مستقیم باعث افزایش بازده فرایند جداسازی می‌شود. در این مقاله روشی ارائه‌شده که براساس آن ترک و شکاف لایه سیلیکا کاهش یافته است. در این روش که به لایه‌نشانی داغ معروف است پایه پیش از انجام تمام مراحل لایه‌نشانی عادی گرم می‌شود. کاهش شکاف و افزایش پیوستگی لایه مذکور با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) به‌صورت ظاهری مشاهده شد. از طرف دیگر با انجام آزمون عبوردهی گاز و مقایسه نتایج دبی گاز خروجی در دو حالت لایه‌نشانی داغ و عادی، مشاهده شد که دبی گاز خروجی در حالت لایه‌نشانی داغ به مقدار محسوسی کاهش می‌یابد. نظر به کاهش ضخامت لایه سیلیکا، کاهش دبی گاز خروجی در نتیجه افزایش پیوستگی و کاهش ترک و شکاف لایه سیلیکا است. بنابراین، در روش لایه‌نشانی داغ با دفعات لایه‌نشانی کمتری نسبت به حالت عادی می‌توان به یک‌لایه سیلیکای پیوسته دست‌یافت.